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ZJ-27/15.5

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DatasheetZJ-27/15.5

5.5MM DIAMETER CRISTAL ,4 PINS

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Features

El ZJ-27/15.5 (frecuentemente catalogado en el sector de alto vacío y tecnologías de película delgada PVD) es un tubo transductor de vacío por ionización de cátodo caliente en encapsulado de cristal (Hot Cathode Ionization Vacuum Gauge Tube), diseñado y fabricado por firmas especializadas en instrumentación de ultra-alto vacío.

A diferencia de los sensores tipo Pirani (como la serie ZJ-52T) que miden vacío medio mediante conductividad térmica, el ZJ-27 es un instrumento de alta sensibilidad física. Su función principal en la planta o laboratorio es actuar como el sensor primario de alto y ultra-alto vacío, encargado de ionizar por bombardeo electrónico las moléculas de gas remanentes dentro de una cámara analizada para medir presiones moleculares extremadamente bajas, enviando una micro-corriente analógica hacia el controlador (vacuómetro digital) para gobernar el lazo de proceso.

1. Desglose Estricto de Parámetros Técnicos y Físicos

Cada variable grabada en el vidrio borosilicatado o en la cartilla de calibración establece los límites operativos de la refacción:

ZJ-27 (Serie y Topología): Identifica a la familia de sensores de ionización basados en la arquitectura clásica Triodo o tipo Bayard-Alpert. Emplea un filamento caliente que emite electrones de forma perenne.

15.5mm / Cristal (Especificación Mecánica): Indica que el cuerpo exterior del sensor está soplado en vidrio de alta resistencia térmica con un diámetro exterior de acoplamiento liso de 15.5 mm. Está diseñado para insertarse directamente en conectores de compresión rápida de vacío (Quick-Connect Ultra-Torr) provistos de juntas elásticas de vitón.

Rango Excepcional de Medición de Vacío: Diseñado estrictamente para operar en el espectro de 4 por 10 a la menos 1 Pascales hasta 1 por 10 a la menos 5 Pascales (equivalente aproximado de 10 a la menos 3 mbar hasta 1 solo factor de 10 a la menos 7 mbar / rango de alto y ultra-alto vacío).

Constante de Sensibilidad Nominal: Calibrado en fábrica con un factor de sensibilidad de 0.15 por Pascal (con una tolerancia de más/menos 15% según el lote de calibración).

Configuración Eléctrica de 4 Pines: La base de cristal del tubo remata en un arreglo circular hermético de 4 terminales macho rígidas de metal, encargadas de alimentar los filamentos internos y extraer la micro-corriente de iones.

2. Principio de Operación Científica (Ionización por Cátodo Caliente)

La física interna del ZJ-27 opera bajo el principio de colisión molecular forzada a nivel atómico:

El controlador del vacuómetro inyecta una corriente al filamento interno (cátodo), calentándolo al rojo blanco para que emita electrones por efecto termoiónico.

Estos electrones son acelerados con fuerza hacia una rejilla metálica interior de rejilla cilíndrica cargada con un potencial positivo alto.

En su viaje hacia la rejilla, los electrones chocan de forma violenta contra las pocas moléculas de gas remanentes de la cámara de vacío, arrancándoles sus electrones periféricos y convirtiéndolas en iones positivos.

Un fino filamento central (colector de iones) cargado negativamente atrae a estos iones positivos. El impacto de los iones genera una corriente eléctrica diminuta (en el rango de los micro o nanoamperios). A menor cantidad de gas en la cámara, menor corriente registrada en el colector. El controlador lee esta señal y la traduce de forma lineal en la lectura real de vacío extremo.

3. Distribución Lógica de las Interfaces de los 4 Pines

La base del tubo de cristal organiza sus filamentos y electrodos internos dividiendo las funciones eléctricas de la siguiente manera:

Pines 1 y 2 (Filamento / Cátodo Caliente): Bornes destinados a recibir el voltaje de calentamiento controlado para inducir la emisión de electrones.

Pin 3 (Rejilla / Acelerador de Electrones): Recibe el potencial eléctrico positivo alto encargado de acelerar el flujo termoiónico.

Pin 4 (Colector de Iones): Terminal de ultra-alta impedancia encargada de recolectar los iones positivos y enviar la micro-corriente de señal de vacío hacia la tarjeta de amplificación del vacuómetro.

Aplications

Debido a su capacidad de medir vacíos extremos donde los sensores mecánicos y térmicos quedan ciegos, el ZJ-27 es la refacción central en:

Sistemas de Evaporación por Haz de Electrones (E-Beam) y Sputtering Avanzado: Monitoreo del vacío crítico de fondo previo al disparo del plasma, garantizando que el camino del haz esté totalmente libre de moléculas para que las capas del recubrimiento óptico o metálico se adhieran con pureza nanométrica.

Microscopios Electrónicos de Barrido (SEM) y Transmisión (TEM): Sensor centinela encargado de validar que la columna del cañón de electrones alcanzó el vacío extremo requerido para que el haz no sufra dispersión por colisión de aire.

Cámaras de Simulación Espacial y Laboratorios de Física: Instrumentación para pruebas de componentes satelitales en condiciones de vacío profundo que emulan el espacio exterior.

Fabricación de Semiconductores y Microchips: Control de la atmósfera ultra-limpia en cámaras de litografía y deposición de silicio.

ZJ-27/15.5

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