PTR26950A

El PTR26950A (asociado internamente al modelo de ingeniería TPR 280 o al código PT R26 950 A) es un transmisor activo de vacío tipo Pirani, diseñado y fabricado por la prestigiosa compañía alemana Pfeiffer Vacuum. Este sensor compacto de alta precisión está clasificado dentro de la línea ActiveLine de la marca, desarrollada para medir de manera continua el nivel de presión absoluta en entornos de vacío bajo y medio.

A diferencia de los medidores de vacío mecánicos comunes, un medidor térmico Pirani utiliza un filamento interno de tungsteno muy delgado expuesto al gas del proceso. Al circular corriente por el filamento, este se calienta. Las moléculas de gas circundantes absorben y disipan ese calor; a menor presión (más vacío), hay menos moléculas de gas para enfriar el filamento, lo que eleva su temperatura y cambia su resistencia eléctrica. El circuito electrónico interno del transmisor mide esta variación en milisegundos y la convierte en una señal de voltaje analógica calibrada y linealizada.

Parámetros Eléctricos y de Operación

Las especificaciones lógicas de la serie compacta ActiveLine garantizan una fácil integración con sistemas centralizados de control:

Rango de Medición Neumática: Capaz de sensar de forma continua desde 5 x 10^-4 hPa hasta 1,000 hPa (mbar). Esto cubre un espectro completo desde el vacío medio industrial hasta la presión atmosférica estándar.

Señal de Salida Analógica: Entrega un voltaje de 2.2 a 8.5 V CC (Voltios de Corriente Directa) proporcional al logaritmo de la presión calculada, permitiendo que cualquier PLC, tarjeta de adquisición de datos o controlador dedicado de Pfeiffer (como las series TPG) lea e interprete el nivel de vacío en tiempo real.

Voltaje de Alimentación: 14 a 30 V CC suministrados directamente mediante el bus del cable de interconexión.

Consumo de Potencia Máximo: Sumamente eficiente, demandando menor o igual a 1 Vatio (W) durante su operación continua.

Tiempo de Respuesta (Response Time): Ultra rápido, de apenas 80 milisegundos (ms), lo que resulta crítico para sistemas automatizados que requieren disparar alertas de seguridad si la presión del vacío se degrada repentinamente.

Características de Diseño, Conexión y Resistencia

La estructura física del sensor está pensada para resistir las condiciones químicas de laboratorios y plantas de semiconductores:

Tamaño y Tipo de Brida (Conexión de Entrada): Formato estándar DN 16 ISO-KF (16 mm de diámetro nominal con sello de abrazadera rápida). Está fabricada enteramente en acero inoxidable de grado quirúrgico.

Sellado y Hermeticidad: Cuenta con un diseño con sello de metal y pasamuros de vidrio (Glass Feedthrough). Esto garantiza que no existan microfugas hacia el exterior del sistema y le otorga una alta resistencia dieléctrica.

Límite de Presión Máxima: El cuerpo del sensor puede soportar presiones mecánicas de sobrecarga de hasta 10,000 hPa (10 bar / 7,500 Torr) sin sufrir rupturas estructurales en caso de una presurización accidental de la cámara.

Temperatura de Horneado (Bakeout): Soporta hasta 80 grados Celsius (°C) en la brida de conexión cuando se realiza el proceso de desgasificación térmica de la cámara de vacío.

Grado de Protección Ambiental: Clasificación IP40, protegiendo los componentes electró

Peso Neto: Ultra ligero y compacto, registrando tan solo 80 gramos (g), evitando esfuerzos mecánicos o palancas estructurales sobre los puertos de vidrio o acero de las cámaras de vacío.

Debido a su tamaño compacto, estabilidad térmica de lectura (repetibilidad de ± 2% entre 10^-3 y 100 hPa) y su rápida velocidad de respuesta, el Pfeiffer PTR26950A es una refacción común en:

Sistemas de Bloqueo de Carga (Load Locks) en Semiconductores: Monitoreo y control del paso de obleas de silicio desde la atmósfera hacia las cámaras de ultra alto vacío en la fabricación de circuitos integrados.

Sistemas de Liofilización Industrial: Medición y control del vacío en el procesamiento por congelación y deshidratación al vacío de alimentos, compuestos químicos y productos farmacéuticos (vacunas).

Hornos de Fundición y Tratamiento Térmico al Vacío: Control de la atmósfera inerte para evitar la oxidación de metales preciosos o aleaciones especiales durante procesos de fundición o templado térmico.

Líneas de Alto Vacío como Sensor de Respaldo (Forevacuum): Colocado inmediatamente antes de las bombas turbomoleculares para verificar que la bomba mecánica de respaldo haya alcanzado el nivel de vacío seguro necesario antes de dar marcha a la etapa de alta velocidad.

Evaporadores y Pulverizadores Catódicos (Sputtering): Supervisión de la presión base antes de la inyección de gases argón para los procesos de recubrimiento por capa delgada en cristales o componentes ópticos.